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1200度CVD设备

1200度CVD设备

浏览量 561
规格/型号:KJ-T1200-S440
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

1200度CVD设备说明介绍

1200度CVD设备

设备介绍

KJ-T1200 CVD是一种管式炉,配备100mm直径石英管、真空泵和五通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-5种气体用于CVD或扩散。该CVD高温管式炉主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品优势

PID智能温控

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

高纯石英炉管

炉管采用高纯石英材质,耐高温耐酸碱腐蚀,高透明材质,便于观察反应情况

触屏智能操控

采用触屏操作系统,数据可存储可通过EXCEL输出

技术参数

产品名称 1200度CVD设备

型号 KJ-T1200

管式炉部分
显示 7”液晶触摸屏

最高温度 1200℃

工作温度 ≤1100℃

升温速率 0~10℃/min

温区长度 440mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 钼电阻丝

热电偶 N型

温度控制精度 ±1℃

炉管 100 x 1000mm (外径 x 长度)

(其他尺寸可根据客户需求定制)

材质:石英管

温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制

加热曲线 30 步可编程

真空法兰 不锈钢真空法兰。

法兰的一端有 1 个带刺针阀,安装有机械压力表。

法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口

真空泵 旋片真空泵 极限真空 10-3 托。

管内的真空度约为 10-1 Torr。

(RM温度和空管条件)

流量:2L/S

包括数字真空计

质量流量计

带液晶触摸屏控制器

一个浮子流量计+五个精密质量流量计:

MFC 精度为:±1.5% F.S.

MFC 1 用于氮气:气体流量范围为 0~100 sccm

氢气用 MFC 2:气体流量范围 0~200 sccm

MFC 3 for methan : 气体流量范围为 0~300 sccm

氩气用 MFC 4:气体流量范围 0~400 sccm

氧气用 MFC 5:气体流量范围 0~500 sccm
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