江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 加工设备

> 快速退火炉

快速退火炉

快速退火炉

浏览量 718
规格/型号:暂无
品牌:科睿设备
应用领域:加工设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:科睿设备有限公司
咨询电话::852-2710-8200(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-06-15
级别:待认证

快速退火炉说明介绍

快速退火炉

快速退火炉


产品简介:

REAL RTP100型快速退火炉是韩国ULTECH公司的一款4寸片快速退火炉,采用革新的加热技术,可实现真正的基底温度测量,不需要采用传统快速退火炉的温度补偿,温度控制精确,温度重复性高,客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队,是半导体制程退火工艺的理想选择。

n 技术特色:

- 真正的基片温度测量,无需传统的温度补偿

- 红外卤素管灯加热

- 极其优异的加热温度精确性与均匀性

- 快速数字PID温度控制

- 不锈钢冷壁真空腔室

- 系统稳定性好

- 结构紧凑,小型桌面系统

- 带触摸屏的PC控制

- 兼容常压和真空环境,真空度标准值为5×10-3Torr,采用二级分子泵真空度低至5×10-6Torr

- 最高3路气体(MFC控制)

- 没有交叉污染,没有金属污染

n 技术介绍:

REAL RTP100型快速退火炉采用专用的一根片状的Real T/C KIT进行测温,如上图,热电偶测温仪与片状Real T/C KIT相连,工作时片状Real T/C KIT位于样品上方很近的位置,阵列式卤素灯辐射出热量经过石英窗口到达样品表面,样品被加热,片状Real T/C KIT同时被加热,由于基片与Real T/C KIT很近,它们之间也会进行热量传递,并很快达到热平衡,所以片状Real T/C KIT测量的温度就无限接近基片真实的温度,从而实现基片温度的真实测量。

n 主要技术参数:

- 基片尺寸:4英寸

- 基片基座:石英针(可选配SiC涂层石墨)

- 温度范围:150-1250℃

- 加热速率:10-200℃/S

- 温度均匀性:≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer)

 ≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

- 温度控制精度:≤ ±3℃

- 温度重复性:≤ ±3℃

- 真空度:5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

- 气路供应:标准1路N2吹扫及冷却气路,由MFC控制(最多可选3路)

- 退火持续时间:≥35min@1250℃

- 温度控制:快速数字PID控制

- 尺寸:870mm*650mm*620mm

n基片类型:

- Silicon wafers硅片

- Compound semiconductor wafers化合物半导体基片

- GaN/Sapphire wafers for LEDs 用于LED的GaN/蓝宝石基片

- Silicon carbide wafers碳化硅基片

- Poly silicon wafers for solar cells用于太阳能电池多晶硅基片

- Glass substrates玻璃基片

- Metals金属

- Polymers聚合物

- Graphite and silicon carbide susceptors石墨和镀碳化硅的石墨基座

n应用领域:

离子注入/接触退火,快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN),可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用,SiAu, SiAl, SiMo合金化,低介电材料,晶体化,致密化,太阳能电池片键合等。

点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
上一个: 多功能镀膜系统 下一个: 高温箱式炉

与“快速退火炉”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 小知识 | 金属钼了解一下 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 金属材料在芯片工艺上的作用 有色金属:六种战争金属性能详解 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 钨矿——工业之基,战争金属之王 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 2025年锂电池行业十大变革性技术 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研
科睿设备有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
加工设备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
852-2710-8200
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.242616s