市场背景:硅片生产过程中,在硅片清洗环节需要使用到硅片插片机。硅片插片机在 使用时,工人利用辅助工装将硅片插入到放置在载片装置上的硅片盒中。硅片盒设有多个容纳硅片的插槽。为了保证硅片能够准确插入到硅片盒上的插槽中,在插入硅片前,需要将辅助工装与载片装置进行对齐校准。
技术难点:目前市场上的硅片插片方式都是平式的,这种结构只用满足小尺寸硅片,如166型,180型硅片,如果硅片尺寸增加,受硅片自重及厚度限制,平式插片机会大大增加不良率,因此需要研发立式分片这一新型技术来解决这个难题。
指标要求:1.人性化的外形结构提高设备各单元间的衔接效率、减少占地空间和便于工人操作。2.具备两级连片检测,并且分片时间短,运行中硅片无任何撞击。3.具有卡篮硅片自动识别和剔除功能和多片连续卡篮报警功能。4.定位入篮和机械手空满篮工位换装时间短,设备产能高。5.轴承与水隔离和防溅水隔离措施,实现免维护,具有设备使用寿命长、运行成本低、产能高等优点。6.对应目前全系列尺寸硅片花篮,根据客户需求定做。7.在保证碎片率的情况下每小时装片不小于4200片。