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管式低压磷扩设备

管式低压磷扩设备

353
规格/型号:DOA-400/DOA-400L
品牌:捷佳伟创
应用领域:材料制备
产地:广东 - 深圳
厂家/供应商:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
咨询电话::0755-81449696(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-01
级别:待认证

管式低压磷扩设备说明介绍

管式低压磷扩设备

设备名称 Equipment name


管式低压磷扩设备 Horizontal Low Pressure Phosphorus Diffusion Equipment


设备型号 Equipment Model


DOA-400/DOA-400L


设备用途 Equipment Application


低压磷扩散掺杂。

Low pressure phosphorus diffusion & doping.


技术特点 Features


1、高方阻技术解决方案。

Technical solutions for high sheet resistance.

2、独特双嵌套炉门结构,有效解决炉口偏磷酸问题。

Unique double-layer-nested furnace door structure,free from metaphosphoric acid problem at the urnace mouth effectively.

3、独特温区设置,有效解决炉口炉尾方阻均匀性。

Unique temperature zone setting which guarantees the uniformity of sheet resistance at the furnace mouth and end effectively.

4、高速平稳整体模组推舟机构。

High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.

5、智能化全自动控制。

Intelligent automatic control.

6、自主知识产权MES软件。

MES software with independent intellectual property rights.

7、匹配S.C智能化生产管理系统。

Matching S.C smart production management system.


设备参数 Parameters


最大兼容硅片尺寸:0230mm

·Max.Compatible Wafer Size:口230mm

单机管数:5管/6管

·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes

单管装片量Loading Capacity/Tube

机型Model:182□210

DOA-400:1400片/管(pcs/tube)、1200片/管(pcs/tube)

DOA-400L:1600片/管(pcs/tube)、1400片/管(pcs/tube)


·单机产能 Throughput

机型Model:TOPCon、PERC

□182、□210、□182、□210

DOA-400(6管/tubes ):4200片/小时(pcs/h)、3600片/小时(pcs/h)、5050片/小时(pcs/h)、4300片/小时(pcs/h)

DOA-400L(6管/tubes):4800片/小时(pcs/h)、4200片/小时(pcs/h)、5750片/小时(pcs/h)、5050片/小时(pcs/h)


外形尺寸(mm,含地脚)Footprint (mm, incl.leveling foot)

DOA-400:9140x1926x4300(6管/tubes)、9140x1926x3675(5管/tubes)

DOA-400L:9888x2076x4400(6管/tubes)、9888x2076x3750(5管/tubes)

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