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槽式RCA清洗设备

槽式RCA清洗设备

360
规格/型号:SC-CSZJ9600E-20F
品牌:捷佳伟创
应用领域:材料制备
产地:广东 - 深圳
厂家/供应商:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
咨询电话::0755-81449696(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-01
级别:待认证

槽式RCA清洗设备说明介绍

槽式RCA清洗设备

设备名称 Equipment Name


槽式RCA清洗设备 Batch-type RCA Cleaning Equipment


设备型号 Equipment Model


SC-CSZJ9600E-20F


设备用途 Equipment Application


用于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理。

Used for wrap around removal & cleaning of the diffused silicon wafers.


工艺流程 Process Flow


去绕镀→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→预脱水→烘干 (供参考)

Wrap Around Removal → Post-clean→ Acid Clean → Post-clean→Acid Clean→ Hot Water Drying → Drying (for reference)


技术特点 Features


1、产能:400片/批,9600片/小时(210硅片),480片/批,12000片/小时(182硅片)。

Throughput: 400pcs/batch, 9600pcs/h(210mm wafer),480pcs/batch, 12000pcs/h (182mm wafer).

2、支持多种添加剂技术。

Various additive technologies available.

3、支持最薄120μm硅片。

Wafer thickness down to 120μm.

4、洁净区域干燥,自洁净系统。

With dry clean area and self-cleaning system.

5、快速换液,在线换液。

Quick inline bath change.

6、支持MES、RFID及选配在线称重功能。

Available with MES, RFID system, inline weight testing optional.


设备参数 Parameters


型号 Model:SC-CSZJ9600E-20F

硅片尺寸(mm)Wafer Size:18X/ 210 / 230 可选optional

Uptime:≥98%

破片率 Breakage Rate:≤0.01%

外形尺寸(mm)Footprint:22950(L)X 2880(W) X2640(H)

清洗篮装载能力Loading Capacity:4个花篮/批

最大提升重量Max. Lifting Weight:80kg

产能 Throughput:400片/批,10000片/小时(210硅片);480片/批,12000片/小时(182硅片)

清洗节拍 Cycle Time:2.4min/carrier

功率消耗 Power Consumption:160KW+144KW(热水机Heater )

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