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单室四源高真空电阻式镀膜设备

单室四源高真空电阻式镀膜设备

176
规格/型号：暂无
品牌：科诚
应用领域：冶金
产地：辽宁 - 沈阳
厂家/供应商：沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话:：13998121527（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-03-27
级别：待认证

单室四源高真空电阻式镀膜设备说明介绍

单室四源高真空电阻式镀膜设备

1、真空室腔体:1套

外形：304优质不锈钢D形前后开门真空室腔体1套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门，真空室内部尺寸D350*480mm，前后门各配DN100视窗1套;

底部：有机源接口4套，JTFB-600风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套;

顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;

左侧：CF35气动预抽角阀接口1套。

2、有机源系统：1套

有机蒸发源4套：4CC石英舟，温控电源2台(温控表显示精度1℃)，温度区间：室温-500℃(控温精度±1℃)，配气动挡板;

隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。

3、样品台系统：1套

基片旋转：转速0～30转/分连续可调;

基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调;

基片挂架：130×130mm基片台，比如可承载最多25片15×15mm基片;

基片挡板：电动挡板。

4、真空泵机组：1套

JTFB-600风冷复合分子泵1台;

8L/S直联旋片泵1台;

CF150高真空气动插板阀1台;

CF35高真空气动挡板阀1台;

KF16高真空气动挡板阀1台;

KF40高真空气动挡板阀1台;

KF40真空电磁充气阀1台;

KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;

ZDF-5227数显真空计1台(测量范围：1×105～1×10-5Pa)。

5、膜厚检测系统：1套

膜厚仪：美国infocon，SQM160两通道石英晶振膜厚监控仪1套;

膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头1套。

6、设备机架：1套

40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;

3英寸万向轮4件，移动调整;

M16地脚4件，锁紧定位。

7、其他电控系统：1套(电气控制采用设备机架内置)

烘烤照明电源：1台;

总控制电源(配7英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等)：1台;

8、其他技术参数：

缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能;

供电：～220V两相供电系统(峰值3KW);

供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;

供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;

极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa。
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标签：
高真空电阻式镀膜设备 电阻式热蒸发设备
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