江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置：中冶有色 > 有色产品 >

有色金属设备

矿山设备

冶金设备

材料制备及加工设备

环境保护设备

分析检测设备

材料

> 冶金设备

> 真空冶金设备

> 团簇式高真空多功能镀膜设备

团簇式高真空多功能镀膜设备

团簇式高真空多功能镀膜设备

535
规格/型号：暂无
品牌：科诚
应用领域：冶金
产地：辽宁 - 沈阳
厂家/供应商：沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话:：13998121527（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-03-27
级别：待认证

团簇式高真空多功能镀膜设备说明介绍

团簇式高真空多功能镀膜设备

设备特点：

1. 采用手套箱，满足用户水氧含量均小于1ppm的要求

2. 真空在线可多次掩膜，并可满足用户对衬底与掩膜板之间无间隙要求

3. 蒸发电极为全封闭，高温钨极，该蒸发源为本公司独创

4. 有机束源炉也是本公司专利，700℃内可精确控温，并为全封闭结构，有效避免了交叉污染

5. 蒸发室及磁控溅射室都配有可加热能升降可旋转的高真空样品安放台，升降行程40-100mm(可由用户确定)，加热温度室温到300℃，连续可调，误差±1℃。所有功能均由电动实现，触摸屏操作

主要技术参数：

1. 两个镀膜室的极限真空度可达3*10-5pa，传递室和样品库5*10-4pa，系统漏率1*10-8pa/s

2. 可镀样品最大尺寸100mm*100mm，样品加热温度最高300℃。成膜均匀度≤±5%

3. 样品台可旋转，转速为每分钟2-30转连续可调

4. 金属蒸发电极最高温度2000℃，有机蒸发源最高温度700℃

5. 可一次装卡4个基片，可进行多次掩膜，可真空在线制作四个器件。保证掩膜板与衬底间无间隙的最佳要求

6. 磁控靶最大功率500W，摆头角度40°
         
咨询底价
标签：
团簇式高真空多功能镀膜设备 磁控溅射镀膜设备
上一个： 高真空六源热蒸发设备 下一个： 单室四源高真空电阻式镀膜设备

全国热门有色金属设备推荐

江苏矿山设备 江苏选矿设备 北京矿山设备 北京选矿设备 江苏冶金设备 南京冶金设备 江苏火法冶金设备 合肥湿法冶金设备 江苏环境保护设备 南京环境保护设备 江苏废水处理设备 江苏大气治理设备 南京大气治理设备 江苏分析检测设备 北京分析检测设备 有色金属会议
沈阳科诚真空技术有限公司
企业认证：
  
所属领域：
冶金
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
13998121527
详细地址：
-

报名参会

2025中国特种合金材料大会
2025中国特种合金材料大会
甘肃 - 兰州
2025年10月17日 ~ 19日
中国有色金属冶金第九届学术会议
中国有色金属冶金第九届学术会议
山东 - 烟台
2025年10月23日 ~ 25日
2025中国新型储能材料大会
2025中国新型储能材料大会
四川 - 宜宾
2025年10月31日 ~ 11月02日
第三届关键基础材料大会
第三届关键基础材料大会
广西 - 桂林
2025年11月07日 ~ 09日
第二届中国安全应急科学与技术装备大会
第二届中国安全应急科学与技术装备大会
云南 - 昆明
2025年11月14日 ~ 16日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

低温全方位行星式球磨机
低温全方位行星式球磨机
标签：
厂家：浙江捷宸仪器设备有限公司
混合型组织研磨仪
混合型组织研磨仪
标签：
混合型组织研磨仪 研磨
厂家：浙江捷宸仪器设备有限公司
生产型行星式球磨机
生产型行星式球磨机
标签：
生产型行星式球磨机 行
厂家：浙江捷宸仪器设备有限公司
触控屏行星式球磨机
触控屏行星式球磨机
标签：
行星式球磨机 球磨机
厂家：浙江捷宸仪器设备有限公司
双行星式球磨机
双行星式球磨机
标签：
双行星式球磨机 球磨机
厂家：浙江捷宸仪器设备有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

1杭州嘉悦智能设备有限公司
2赛默飞世尔科技
3河南川萍环保科技有限公司
4濮阳豫沪不锈钢制造有限公司
5南通联源机电科技股份有限公司
6郑州择壹金属制品有限公司
7无锡沪上金属材料有限公司
8昆山金吉港电器有限公司
9苏州恒商工业设备有限公司
10上海欣叠仪表有限公司

最新更新产品

▪ 低温全方位行星式球磨机
2025-10-16
▪ 混合型组织研磨仪
2025-10-16
▪ 生产型行星式球磨机
2025-10-16
▪ 触控屏行星式球磨机
2025-10-16
▪ 双行星式球磨机
2025-10-16
▪ 多功能金属板成型液压机
2025-10-16
▪ 高通量组织研磨仪（双头）
2025-10-16
▪ 高通量组织研磨仪-48位
2025-10-16
▪ 大容量全方位行星式球磨机
2025-10-16
▪ 触摸屏电加载数显洛氏硬度计
2025-10-16
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
店铺认领信息登记