设备技术指标：
1、真空室腔体:1套
1) 外形：304不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门)真空室腔体1套(采用物理抛光后，再采用化学电解抛光，真空室内外洁净美观，内部尺寸D400*480mm)，前后门配DN100视窗3套;
2) 底部：金属源接口3套，有机源接口3套，国产600L/S风冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口2套;
3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;
4) 左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。
2、金属/有机源系统：1套
1) 金属蒸发源3套：水冷
铜电极3组，兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源2台(数字显示)，电流调整精度0.1A(微调)，功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀;
2) 有机蒸发源3套：4CC石英舟，温控电源2台(温控表显示精度0.1℃)，温度区间：室温-500℃(控温精度±1℃)，配气动挡板;
3) 隔板：蒸发源隔板分隔，避免交叉污染。
3、样品台系统：1套
1) 功能：可升降，可旋转(转速0～30转/分连续可调);
2) 托架：20*20mm衬底8片，附掩膜板，可真空在线切换掩膜板图形1次;
3) 蒸距：衬底与蒸发源间距200-300mm;
4) 挡板：样品托架电动挡板1套。
1) 国产600L/S风冷分子泵1台;
2) 8L/S直联旋片泵1台;
3) CF150高真空气动插板阀1台;
4) CF35高真空气动挡板阀1台;
5) KF16高真空气动挡板阀2台;
6) KF40高真空气动挡板阀1台;
7) KF40真空电磁充气阀1台;
8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;
9) ZDF—5227真空计1台。
5、膜厚检测系统：1套
1) 膜厚仪：英福康SQM160两通道膜厚监测仪1套;
2) 膜厚探头：进口水冷膜厚探头2套。
6、设备机架：1套
1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;
2) 3英寸万向轮4件，移动调整;
3) M16地脚4件，锁紧定位。
7、电控系统：1套(电气控制采用机架内置)
1) 有机源电源：2台(1带2);
2) 金属源电源：2台(1带2);
3) 蒸发源挡板电源：1台;
4) 英福康SQM160两通道膜厚监测仪：1台;
5) 样品台以及其挡板电源：1台;
6) 烘烤照明电源：1台;
7) PLC控制器(配10英寸触摸屏)：1台;
8) 总控制电源(含机械泵电源)：1台。
8、其他技术参数：
1) 缺相保护、误操作保护等功能;
2) 供电：～220V两相供电系统(峰值6KW);
3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;
4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;
5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa。
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湖南 - 衡阳
2025年04月11日 ~ 13日
