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高真空金属镀膜仪

高真空金属镀膜仪

浏览量 718
规格/型号：暂无
品牌：科诚
应用领域：冶金
产地：辽宁 - 沈阳
厂家/供应商：沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话:：13998121527（请说明信息源自“北方有色网”）
更新时间：2025-03-27
级别：待认证

高真空金属镀膜仪说明介绍

高真空金属镀膜仪

设备技术指标：

1、金属真空室腔体:1套

1) 外形：304优质不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门)真空室腔体1套(真空室内部尺寸D400*480mm)，前后门配DN100视窗2套;

2) 底部：金属源接口4套，国产600L/S风冷分子泵接口1套(真空室内部口采用遮板防尘)，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口2套;

3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;

4) 左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。

2、金属蒸发源系统：1套

1) 金属蒸发源4套(金属室)：水冷铜电极4组，兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源4台(一带一)(数字显示)，电流调整精度1A，功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀;

2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。

3、样品台系统：1套

1) 基片旋转：转速0～30转/分连续可调;

2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调;

3) 基片挂架：120×120 mm基片台，承载最多25片15×15mm基片(或可根据客户需求定做)，附掩膜板;

4) 基片水冷：φ180mm水冷台，接入冷水机冷却;

5) 基片挡板：电动挡板。

4、真空泵机组：1套

1) 国产600L/S风冷分子泵1台;

2) 8L/S直联旋片泵1台;

3) CF150高真空气动插板阀1台;

4) CF35高真空气动挡板阀1台;

5) KF16高真空气动挡板阀2台;

6) KF40高真空气动挡板阀1台;

7) KF40真空电磁充气阀1台;

8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;

9) ZDF-5227数显真空计1台(测量范围：1×105～1×10-5Pa)。

5、膜厚检测系统：1套

1) 膜厚仪：美国infocon，SQM310两通道石英晶振膜厚监控仪1台，

2) 膜厚探头：美国进口水冷膜厚探头2套。

6、设备机架：1套

1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;

2) 3英寸万向轮4件，移动调整;

3) M16地脚4件，锁紧定位。

7、其他电控系统：1套(电气控制采用1.8米电控柜内置或集约机架式结构)

1) 金属源电源：4台(1带1);

2) 烘烤照明电源：1台;

3) 总控制电源(配7寸触摸屏，PLC控制器，控制样品台，蒸发源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等)：1台。

8、其他技术参数：

1) 系统状态检测，误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能;

2) 供电：～220V两相供电系统(峰值5KW);

3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;

4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;

5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa。
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企业认证：
营业执照待认证    手机号待认证
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冶金
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