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双室高真空镀膜设备

双室高真空镀膜设备

280
规格/型号：暂无
品牌：科诚
应用领域：冶金
产地：辽宁 - 沈阳
厂家/供应商：沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话:：13998121527（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-03-27
级别：待认证

双室高真空镀膜设备说明介绍

双室高真空镀膜设备

一、电子束水冷样品台组件1件


  1、旋转：57CM23步进电机，1件光电限位开关（前后两点）；

  2、升降：57CM23步进电机，配速比1:5减速器，升降2点接触限位开关，触摸屏上显示电子束高点400mm，低点300mm，金属源高点340mm，低点240mm，另取1点，可随意定位；

 3、样品台挡板：24V减速电机，2件限位开关。

二、有机水冷样品台组件1件

  1、旋转：57CM23步进电机，1件光电限位开关（前后两点）；

  2、升降：57CM23步进电机，配速比1:5减速器，升降2点接触限位开关（触摸屏上显示高点340mm，低点240mm），另取1点，可随意定位；

  3、样品台挡板：24V减速电机，2件限位开关。

三、电子束蒸发源组件

  1、8KW电子束1套，380V

  2、金属源3套，1KW金属源电源1套（一带三）；

  3、气动挡板4套，24V换向阀。

四、有机蒸发源组件

  1、有机源6套，有机源电源3套（一带二）；

  2、气动挡板6套，24V换向阀。

五、真空泵机组

  1、VRD-30双级泵2台（220V）；

  2、DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀2台（220V）；

  3、GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀2台（24V）；

  4、JTFB-1200风冷复合分子泵1台（220V）；

  5、JTFB-600风冷复合分子泵1台（220V）；

  6、CCQ-200CF气动超高真空插板阀1台（24V）；

  7、CCQ-150CF气动超高真空插板阀1台（24V）；

  8、CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀2台（24V）；

  9、GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀2台（24V）；

  10、ZDF-5227数显真空计1台（两高两低，测量范围：1×105～1×10-5Pa）（220V）。

六、烘烤照明

  24V，250W卤钨灯每套真空室各2套，烘烤照明电源：1台或者两台

七、电控系统

  采用机架内置，可用空间710mm高3列，左侧上部170mm不可用，右侧上部120mm不可用。

八、10英寸触摸屏

九、电子束膜厚系统

  1、SQC310两通道石英晶振膜厚监测仪1台；

  2、MCVAC水冷膜厚探头2件。

十、膜厚系统

  1、SQM160两通道石英晶振膜厚监测仪1台；

  2、MCVAC水冷膜厚探头2件

十一、其他

  1、小型冷水机1台；

  2、小型空压机1台。
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双室高真空镀膜设备 电阻式热蒸发设备
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