一、概述
该设备是一台超高温超高真空蒸馏炉，主要利用不同成分在相同温度下蒸汽压及冷凝温度不同的原理，用于高熔点稀有或
稀土金属熔炼及蒸馏提纯。
二、设备特点：
1、系统总功率≤150KW，加热电源采用具有恒流恒功率功能的低压IGBT电源。
2、钨钽复合护套氧化铪绝缘超高温钨铼电偶测量，能够实现测量及控制温度范围室温～2000℃，测温电偶校正加热功率后自动移出，定时校正，靠软件恒定加热功率控制，增加热电偶使用寿命。瞬时极限温度2200℃(真空条件红外测温)，工作温度2000℃(真空条件)，控温精度好于±5℃，可按设定程序控制，热偶温度控制点在坩埚中部，红外温度控制点在坩埚中部，由软件控制协同工作，温度控制精确稳定，没有温度过冲，整个工作过程温度漂移好于±10℃，对炉丝也有保护功能，热电偶及电极采用横穿安装，便于维修。
3、炉壳材料全部316L不锈钢，整个真空室安装前进行1000℃，电解抛光并4×10-4Pa真空除气处理，静密封采用全金属密封(也可兼容氟胶密封)，动密封采用焊接纹管密封，可以达到冷态极限真空度： 9.0×10-8Pa(测量点为炉体内部真空，非泵口真空)1500℃极限真空度为8.0×10-6Pa(空炉),压升率≤0.001Pa/h。
4、采用耐高温低蒸汽压的钨铼合金棒加热器，外置高纯氮化硼绝缘件吊装，低蒸汽压高温钨铼合金及钛锆鉬合金屏蔽，不会污染产品，所得到的材料纯度可以保证。加热器采用悬浮挂接，不变形，在安装前进行1200℃，4×10-4Pa真空除气及脱氧化物处理。
5、控制方式：具有手动/自动和半自动多种功能，由进口三菱PLC进行总体控制，可程序控制设备自动运行，也可切换到手动/半自动运行，可结合进口岛电和雷泰程序温控器结合电脑及PLC、加热电源、对升温度时间及保温时间等进行程序控制，所有这些参数都可通过通讯接口上传到电脑上进行记录，显示器采用12吋高清触摸屏，美观大方。
6、超温报警加热器断电，断水报警加热器断电，漏气报警加热器断电，断偶报警加热器断电功能。
三、设备技术参数描述：
1、装料方式：立式上部进出料
2、极限工作温度：2200℃
额定最高工作温度： 2000℃，空炉升温时间：≤200min。
3、加热器尺寸Ф260×400mm
4、压升率： ≤0.001Pa/h(全金属密封条件下24h剩余真空度好于0. 024Pa，氟橡胶密封条件下，24h剩余真空度好于1Pa)
5、冷态极限真空度： 9.0×10-8 Pa(金属圈密封)/ 5.0×10-6(氟胶圈密封)Pa(测量点为炉体内部真空，非泵口真空)
6、电源：380V 50HZ。
7、设备最大高度3500㎜，占地4000㎜×4000㎜
四. 设备组成：
该设备由炉体(双层水冷)、反射屏、加热元件、坩埚部件、测温控温系统、真空机组、真空测量系统、上盖冷凝装置、下盖坩埚装置、机架、电控系统及软件系统等成。
1. 炉体
炉体为双层水冷结构，材料全部316L 不锈钢;中间通水冷却。真空室分水冷上盖，水冷真空室体及水冷下底三个独立部分，真空室体与下底采用高纯银或
高纯铜丝密封，真空室上盖与真空室体即可以用高纯银或铜丝密封也可以用氟胶圈密封，炉侧装有水冷电极、热电偶、观察孔及红外测温孔，炉底有CF200清灰孔，整个真空室安装前全部零件进行1000℃4×10-4Pa24小时真空除气并电解抛光处理。
结构形式：立式，上开盖，上出料，上盖为钟罩式;
结构尺寸：真空腔有效内尺寸Ф600×1200mm;
密封方式：高纯银或高纯铜丝或氟胶圈密封;
2. 保温屏
保温屏由3层钨铼合金屏、3层高温钨屏，6层钛锆钼屏(TZM)、一层高温钼壳组成，各个保温屏为独立整体，安装前全部零件进行1200℃4×10-4Pa24小时真空除气除氧化物处理。
3. 加热元件及坩埚与收集筒
加热元件采用高温钨棒，绝缘材料为热压氮化硼，加热器尺寸Ф260×400mm，钨坩埚(用户自备)尺寸：≤Ф160×240mm。
钨或钽收集筒尺寸：收集筒尺寸：≤Ф160×500mm(用户自备)。
4. 测温控温系统
加热电源(120KW)采用低压IGBT恒流直流电源。测温控温用进口岛电FP93 温控表，可以设置温度曲线及升温速率，测控温精度≤1600℃时±2℃，2000℃时±5℃，1600℃以上自动转换为由红外测温。钨铼偶为钨钽复合护套氧化铪绝缘超高温热电偶，可电动进出加热区，1600℃以上仅短时间在加热区，作为恒流恒功率电源及红外测温仪的校准之用，红外测温仪也是用于恒流恒功率电源功率校准，不能长时间测温。
红外测温窗口为蓝宝石焊接，内有磁力耦合挡板。
5. 真空系统
真空系统由2套天元星CF200 /2000L/S高速高极限分子泵及富斯特15L/S 直联机械泵组成。
真空阀门为2台北科仪高真空CF200电动插板阀及CF35 角阀组成。
在真空室2个CF200出口各有一套水冷挡辐射阱。
6. 机架
设备固定于一个1000㎜×3000㎜的平台上，上盖采用电动升降机构，腔体有升降移动吊车。
7. 电控部件
工业控制电脑及PLC控制器，控制柜体面板人性化设计，操作直观简单，控制回路具有断水、超温、过流、炉盖升降及对位限位装置、声光报警及自动保护等功能。
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湖南 - 衡阳
2025年04月11日 ~ 13日
