1、真空室腔体:1套
外形：304优质不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门)真空室腔体1套(真空室内部尺寸D400*480mm)，前后门各配DN100视窗1套;
底部：金属蒸发源接口8套， JTFB-600风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套;
顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;
左侧：CF35气动预抽角阀接口1套。
2、蒸发源系统：1套
金属蒸发源8套：水冷
铜电极8组，兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源4台(数字显示)，电流调整精度1A(微调)，功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀;
金属源可兼容蒸镀有机;
隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。
3、样品台系统：1套
基片旋转：转速0～30转/分连续可调;
基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距240-340mm通过触摸屏连续可调;
基片挂架：130×130mm基片台，比如可承载最多25片15×15mm基片;
基片挡板：电动挡板。
JTFB-600风冷复合分子泵1台;
8L/S直联旋片泵1台;
CF150高真空气动插板阀1台;
CF35高真空气动挡板阀1台;
KF16高真空气动挡板阀1台;
KF40高真空气动挡板阀1台;
KF40真空电磁充气阀1台;
KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;
ZDF-5227数显真空计1台(测量范围：1×105～1×10-5Pa)。
5、膜厚检测系统：1套
膜厚仪：美国infocon，SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套;
膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头2套。
6、设备机架：1套
40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;
3英寸万向轮4件，移动调整;
M16地脚4件，锁紧定位。
7、其他电控系统：1套(电气控制采用设备机架内置)
烘烤照明电源：1台;
总控制电源(配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等)：1台;
8、其他技术参数：
缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能;
供电：～220V两相供电系统(峰值3KW);
供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;
供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;
极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa。
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湖南 - 衡阳
2025年04月11日 ~ 13日
