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适用于半导体制造设备的废气处理系统及半导体制造设备

808   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:58:46
本实用新型涉及废气处理领域，提供一种适用于半导体制造设备的废气处理系统及半导体制造设备。适用于半导体制造设备的废气处理系统包括若干封闭室，各封闭室内设置有真空泵和废气处理装置；排风管路，流体连通于封闭室；消防管路，流体连通于封闭室。该适用于半导体制造设备的废气处理系统能够节省建筑施工成本，还能够将废气处理装置产生的热量以及潜在的废气及时排走，能够火情进行及时的消除。降低了相关技术中半导体制造设备的废气处理系统中容易出现的火灾、爆炸等危险事宜出现的可能性，提高了半导体制造设备的废气处理系统的安全处理能力。
声明：
“适用于半导体制造设备的废气处理系统及半导体制造设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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