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硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法

785   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:31:42
本发明公开了一种硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法，硅片切割废砂浆先添加降黏剂，进行固液分离得到一级悬浮液和一级固体颗粒，一级固体颗粒再添加降黏剂进行二级固液分离，进一步除去固体颗粒中的切割液成分，得到二级固体颗粒，二级固体颗粒加水然后依次进行超声清洗、旋流分离，旋流分离得到硅粉悬浮液和碳化硅悬浮液，碳化硅悬浮液依次进行离心分离、碱反应清洗、离心分离、离心水洗、干燥和干法分级，最后得到可循环使用的碳化硅产品。旋流分离得到硅粉悬浮液经过板框过滤得到硅粉固体颗粒和水，水返回二级固体颗粒使用。二级固液分离得到的悬浮液返回到一级固液分离作为降黏剂使用。
声明：
“硅片切割废砂浆中的碳化硅回收利用的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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