合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 环境保护技术

> 固/危废处置技术

> 用于改善废气消减的系统和方法

用于改善废气消减的系统和方法

748   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:30:59
本公开总体上涉及用于在半导体晶片的制造期间形成的废气的燃烧消减的系统和方法。特别地，本文描述的系统能够以比现有的消减系统更高的效率和更低的能量使用燃烧污染空气的全氟化碳，包括具有高温室气体指数的全氟化碳，例如六氟乙烷(C2F6)和四氟甲烷(CF4)，以及形成颗粒物的二氧化硅前体，例如硅烷(SiH4)和四乙氧基硅烷(Si(OC2H5)4，缩写为TEOS)。更具体地，并且在一个优选实施方案中，本公开针对于一种废气消减系统，其利用不可燃和可燃气体(或气体混合物)的组合进行热燃烧，所述气体被引导通过反应室的多个可渗透内表面，从而有效地燃烧废气并防止固体颗粒物质在腔室表面上的不希望的积聚。
声明：
“用于改善废气消减的系统和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
固废
上一个：废气冷却器
下一个：庆大霉素发酵废液固液分离处理方法

与 “用于改善废气消减的系统和方法” 相关技术

▪ 基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪ 支架安装方便的太阳能光伏组件
▪ 高强度铝合金材料及其制备方法
▪ 全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统
▪ 高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪ 高效冶金真空吸铝装置
▪ 真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

相关固/危废处置设备推荐

单塔四区高效吸收塔
二合一过滤机
UL-10A-20U-IVN 大生滤芯
陶瓷多管除尘器
HTB多段透浦式 印刷设备中压鼓风机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪支架安装方便的太阳能光伏组件
▪高强度铝合金材料及其制备方法
▪全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统
▪高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪高效冶金真空吸铝装置
▪真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

报名参会
更多+

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024年11月29日 ~ 12月01日
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024年12月20日 ~ 22日

报告下载

1 废光伏组件拆解回收与稀贵金属回
下载:152
2 退役动力电池资源化回收关键技术
下载:116
3 基于热还原法选择性回收废旧锂离
下载:115
4 复杂铜基多金属固废绿色协同冶炼
下载:112
5 工业石膏资源化综合利用新技术开
下载:111
6 废旧锂电全组分回收与利用
下载:108
7 涉重危废资源化利用理论体系构建
下载:102
8 多固废协同促进尾矿跨区域大规模
下载:102
9 稀土固废多组分协同提取与再生技
下载:99
10 工业固废及废水金属资源化解决方
下载:94
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1铝灰处理方法
2锂渣固废资源化回收工艺
3矿石分级土壤处理装置
4钽铌湿法冶金废水处理方法
5铜矿选矿尾渣废物利用方法
6铅锌矿选矿废水处理装置
7利用微波辅助降解选矿废水中氰离子的方法
8选矿废水深度处理回用装置
9钢铁烧结烟气中二氧化碳捕集的系统及方法
10含镍铁渣固废的无害化处理方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记