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硅片切割废砂浆的回收处理方法

700   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:29:55
本发明涉及一种硅片切割废砂浆的回收处理方法。包括如下步骤:①分离硅片切割废砂浆中的固液成分;②进一步回收固体中残留的切割液成分;③水流浮选分离硅粉、碳化硅;④回收硅粉;⑤回收碳化硅;⑥将回收的切割液进行粗滤、精滤、脱色、真空蒸馏脱水,添加相应量的组分进行二级过滤后。本发明回收产物种类多,包括碳化硅微粉、切割液、硅粉,回收率高,回收效益高,可节省砂浆成本至少40%;同时有效地解决了单一回收可能造成二次污染问题;回收处理后的碳化硅微粉重新恢复切割功能,变废为宝,实现了真正意义上的资源再利用,可促进循环经济的发展;本发明方法对接污水处理工艺后,将废水处理后再利用,基本实现废液的零排放,有利于环境保护。
声明：
“硅片切割废砂浆的回收处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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