本发明公开一种工件清洗方法。该方法包括:将工作气体通入所述等离子体发生器内,并将等离子体发生器内的气体抽出,使所述等离子体发生器内的气压在预设范围内;启动电源,使留在等离子体发生器内的工作气体放电,产生等离子体对所述待清洗的工件进行清洗;预设时间后,向等离子体发生器内通入空气,使等离子体发生器内部恢复常压。本发明提供的工件清洗方法,能够避免产生废水,减少环境污染。
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