本实用新型提供了一种切割中单晶硅的应急超声波清洗装置,包括控制柜、超声波发生器和清洗槽,所述的控制柜与超声波发生器连接用于控制超声波发生器,所述超声波发生器设置在清洗槽内部,所述清洗槽内具有单晶硅搁置架,所述单晶硅搁置架底部通过一个导轨与清洗槽连接,所述单晶硅搁置架可以在清洗槽内滑动,所述清洗槽底部设置有排渣孔和排水口。本实用新型大大提高了超声清洗的效果,同时可以对废水和废渣进行单独排放。解决现有超声波清洗效果不好,残渣清除不易的问题。
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