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硅片高压冲洗槽

604   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 02:50:24
一种硅片高压冲洗槽,包括槽体、挡水板升降装置、高压喷淋装置及过滤装置,槽体侧壁埋设有喷淋装置,喷淋装置通过喷淋管道和连接若干高压喷水头,槽体的两侧安装有挡水板升降装置,槽体底部连接排水管,排水管底部连接过滤装置,过滤装置分为废水罐和净水罐,废水罐与净水罐之间安装有滤网,废水罐底部安装有排污管,净水罐顶部连接有外接水管,底部连接有循环水管,循环水管与喷淋管道对接。本实用新型的槽体内埋设高压喷淋装置,通过强力水流冲刷硅片,提升清洗效率;挡水板通过电动伸缩杆上下位移,不影响清洗吊篮的垂直行程的同时,可在冲刷过程中避免相互污染;过滤装置可将残渣过滤,循环使用水源,节约水源、降低成本。
声明:
“硅片高压冲洗槽” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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