本发明的公开了一种高催化活性TiN/Pt复合膜电极及其制备方法,属于能源材料制备技术领域,其中包括:1)通过磁控溅射技术获得TiN膜,其中Ti含量的范围在50‑70at%,N元素含量为30‑50at%。2)通过磁控溅射技术获得TiN膜后,再沉积负载量为0.3‑3ug/cm2,颗粒大小为2‑100nm的Pt膜。针对湿法化学工艺中存在的工艺复杂、成本高、环保性差问题,以及粉体催化剂不易牢固装配,氮化钛粉体和Pt协同催化有待提高等问题,本发明采用磁控溅射技术制备TiN/Pt复合膜,原材料采用纯金属,制备方法简单易行,易规模化,无废水及废弃排放,环保性好;膜材料直接附于基体,不需额外粘连。该发明有很好的工业化推广前景,可在燃料电池等邻域有广泛应用。
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