本发明提供一种三维光波导调制结构及其制备方法,其中,三维光波导调制结构包括:衬底;位于所述衬底中的光波导,所述光波导包括主传输光波导、过渡光波导和边缘光波导,所述过渡光波导连接所述主传输光波导和所述边缘光波导,所述主传输光波导和所述边缘光波导在所述衬底中的深度不同;位于所述衬底一侧表面的耦合波导,所述耦合波导与所述主传输光波导相对设置,所述耦合波导至所述主传输光波导的距离小于所述耦合波导至所述边缘光波导的距离;位于所述耦合波导背向所述衬底一侧的铌酸锂膜。所述三维光波导调制结构使光在光波导传输过程中损耗率降低。
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