本实用新型公开了一种弱限制的N×N多模干涉波导型光功率分配器,在光学玻璃或铌酸锂晶体衬底表面上,通过扩散或离子交换的方法设置渐变折射率分布的矩形多模光干涉区,分别与多模光干涉区两端相连的N路单模输入波导和N路单模输出波导。还可在多模光干涉区的各输出点位置设置一宽度逐渐变化的输出过渡区,此过渡区的另一端与单模输出波导相连接。本实用新型由于采用了渐变折射率分布波导,所以可用简单的工艺制作过程在玻璃基片或者铌酸锂基片等上制作出性能优良的N×N多模干涉波导型光功分器。可进一步商业化,低投入、高产出,形成规模化生产。
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