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全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法

1011   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 23:26:57
本发明公开了一种全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法。其产品由三块玻璃片和一块压电材料构成。三块玻璃片自上到下堆叠构成的驻波反应腔,上层玻璃片利用激光开有用于流体进出的孔口,并在表面孔口上面键合一块开有对应孔口的较厚的聚二甲基硅氧烷(PDMS);中层玻璃片上由激光切割穿透玻璃制备了微米级别的沟道;下层玻璃片是完整的玻璃,用于封装腔室。压电材料采用铌酸锂单晶,其上下表面均镀上一层透明掺锡氧化铟(ITO)导电薄膜层并粘在谐振腔下表面,铌酸锂晶片两面经过银浆固化引出两根导线。本发明所制备的芯片完全透明,可视性极高,可用于细胞/微粒等样本的聚集、分离和操控;本发明的制备工艺简单,成本低廉。
声明:
“全透明的微流控声学体波芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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