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带有人工畴构造的声表面波器件用的基片及其制备方法

809   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:21
一种带有人工畴构造的声表面波器件用的基片及其制备方法，该基片为铌酸锂晶体或钽酸锂晶体制成的晶片，所述晶片为单面或双面镜面抛光，晶片的背面分布有周期性反转线条畴或点阵畴，反转线条畴或点阵畴的周期宽度为3~200微米，反转线条畴或点阵畴的深度为晶片厚度的1/10~1/1。该晶片的正面用于制作SAW叉指换能器，制作的SAW器件具有低静电、低温度系数等优点。
声明：
“带有人工畴构造的声表面波器件用的基片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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