本发明公开了一种非晶硅薄膜
锂电池刻蚀装置,包括机身以及设置在所述机身内的第一滑动腔,所述第一滑动腔内可左右滑动的设置有第一滑动块,所述第一滑动块前后对称设置有左右贯穿的第一通孔,所述第一通孔内滑动设置左右延伸的第一光杆,所述第一光杆左右两端固定安装在所述第一滑动腔左右端壁内,所述第一滑动块前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔,所述第一空腔下底壁内固定安装有齿条;本发明结构简单,操作方便,通过采用机械结构与光学结构结合,自动进行非晶硅薄膜的刻蚀,不仅自动化程度高,而且不受非晶硅薄膜负面限制,能够完成大批量大幅面高质量非晶硅薄膜刻蚀,提高了刻蚀效率与质量,提高了装置实用性能。
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