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折返式补锂设备

639   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:10:09
本实用新型涉及一种折返式补锂设备，包括补锂腔室及设于其内的放卷装置、收卷装置、导向轮组、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；导向轮组包括第一、第二导向轮，第一导向轮用于导向且使基片上第一侧表面的第一区域和第二区域相对设置，第二导向轮用于导向且使基片上第二侧表面的第三区域和第四区域相对设置；各组内的靶材安装机构的数量均为多个且沿基片的传输方向设置；其中有两个靶材安装机构组分别设于基片的第一区域和第二区域之间的位置、第三区域和第四区域之间的位置；基片加热机构包括加热安装机构及设于其上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构之间，加热片用于对基片加热。
声明：
“折返式补锂设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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