本发明属于电池制造技术和真空镀膜技术领域,涉及一种生产全固态薄膜
锂电池的方法和设备。本发明采用真空镀膜机在不暴露空气环境下,在基板上方制造单芯电池。电池结构采用N次重复的单芯电池堆垛单元,无需外加线路,结构上自然形成高电压薄膜锂电池,电池目前的实测稳定电压为6V‑100V;该电池在结构上分为两款:第一款是含有负极的高电压电池,第二款是无负极的高电压电池。本发明实现程序化往复镀膜,避免了暴露真空而导致薄膜受到空气污染,从而实现生产高电压薄膜锂电池制备的连续性和一致性。在生产过程中,各工序步骤可连续,无互扰,相对传统设备生产效率提高了30%以上。
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