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基于铌酸锂的电光型S弯曲可变衰减器

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:51:10
本发明公开了一种基于铌酸锂的电光型S弯曲可变衰减器。S弯曲波导依次由输入波导、输入锥形过渡波导、S弯曲衰减波导、输出锥形过渡波导和输出波导构成。其中S弯曲衰减波导的波导宽度小于输入、输出波导宽度；覆盖电极经过SiO2缓冲层覆盖在输入锥形过渡波导、S弯曲衰减波导和输出锥形过渡波导上方，并且覆盖电极以S弯曲衰减波导中间点分为相连的两部分，分别向S弯曲波导内侧平移；接地电极结构组成与覆盖电极相同，接地电极与覆盖电极间距2～3μm，由两个焊点引出。本发明具有体积小、易于集成的优势；同时，由于铌酸锂材料具有很高的电光系数，所以用铌酸锂材料制作的可变衰减器具有低插入损耗，低电压，易于集成。
声明：
“基于铌酸锂的电光型S弯曲可变衰减器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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