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三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置

1075   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:43:08
本发明提供了一种三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置，包括机架，所述的机架内设置有第一隔板与第二隔板，第一隔板与第二隔板均纵向设置，所述的第一隔板与第二隔板上均设置有一个位置相对应的窗口，所述的第一隔板与第二隔板将所述的机架的内部依次分隔为放卷腔、第一镀膜腔、收卷腔，基膜通过所述的窗口自放卷腔穿行至收卷腔。本发明所述的三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置通过三级蒸发结构的蒸发系统完成输运及蒸发锂，改善沉积锂薄膜的高温度现象与薄膜的均匀性。
声明：
“三级蒸发高速卷对卷真空锂薄膜生产装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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