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锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法

1024   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:36:54
本发明提供了一种锂离子电池硅基合金薄膜的制备方法，属于锂离子电池技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：在真空和惰性气体条件下，开启硅靶材和金属靶材，对挡板进行预溅射；预溅射结束后，对基片进行溅射，得到锂离子电池硅基合金薄膜。本发明采用预溅射，能够避免将靶材表面可能存在的部分氧化物或污染物溅射到基片上，保证了硅基合金对基片的结合力及电化学性能；金属靶材和硅靶材同时溅射沉积到基片上，保证了硅基合金薄膜的均匀性，能够缓解硅的体积效应。
声明：
“锂离子电池硅基合金薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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