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铁-锂离子对掺杂改性的高压电系数氧化锌基压电薄膜及其制备方法

866   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:36:53
一种铁‑锂离子对掺杂改性的高压电系数氧化锌基压电薄膜及其制备方法，涉及一种高压电系数的掺杂氧化锌压电薄膜的制备方法。是要解决现有方法无法使ZnO薄膜的压电性能得到优化提高的问题。该氧化锌基压电薄膜材料，化学通式为Zn1‑2x(FexLix)O。方法：一、将二水合醋酸锌和乙醇胺溶解于乙二醇甲醚中，搅拌得到前驱体溶液；二、将九水合硝酸铁和二水合醋酸锂加入前驱体溶液中，搅拌得到溶液；三、将溶液陈化形成胶体；四、利用溶胶凝胶旋涂法将胶体在Si衬底上涂覆薄膜；五、热解；六、通过重复步骤四和步骤五；七、将薄膜进行晶化处理；八、将薄膜进行电场极化处理，至室温，得到极化后的薄膜。本发明用于无铅压电陶瓷领域。
声明：
“铁-锂离子对掺杂改性的高压电系数氧化锌基压电薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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