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单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器

771   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:35:40
本发明公开了一种单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器，包括单边输出的双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底、二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和铌酸锂脊形光波导，所述铌酸锂脊形光波导形成单边输出的双Y分支光波导结构。本发明中，过渡光波导采用曲线结构，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声；另外，本发明通过改变铌酸锂薄膜光波导芯片的结构，增大了铌酸锂脊形光波导与保护层的折射率差，进而增强了对光的束缚能力，使光波导的弯曲半径大大减小，并实现了单边输出的结构，实现了器件的小型化。
声明：
“单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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