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铌酸锂薄膜多功能集成光学器件

1023   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:30:56
本实用新型公开了一种铌酸锂薄膜多功能集成光学器件，包括：基底材料、下层电极、下缓冲层、铌酸锂薄膜、波导耦合器、Y分支波导、上缓冲层、波导耦合器吸收层电极和Y分支波导调制器电极。本实用新型所述铌酸锂薄膜多功能集成光学器件可实现3dB波导耦合器与Y波导调制器的单片集成，有利于该集成芯片的小型化，可实现光纤陀螺用集成光学器件集成度的提升、光纤陀螺仪体积的缩小以及光纤陀螺系统可靠性的提升。
声明：
“铌酸锂薄膜多功能集成光学器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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