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低杂波铌酸锂薄膜声表面波滤波器及其制备方法

626   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:28:38
本发明属于滤波器技术领域，具体涉及一种低杂波铌酸锂薄膜声表面波滤波器及其制备方法；该方法包括：支撑衬底、介质层、铌酸锂薄膜和叉指换能器；所述介质层包括介电薄膜层和预埋介电材料，预埋介电材料嵌入设置在铌酸锂薄膜内部且呈周期性分布，介电薄膜层设置在支撑衬底和铌酸锂薄膜之间，且介电薄膜层和预埋介电材料相邻；本发明通过在压电薄膜层即介电薄膜层中内埋介电材料，抑制杂波信号，降低宽带单晶薄膜声表面波滤波器通带的杂波干扰，提升滤波器通带平坦度，实现单晶薄膜声表面波滤波器整体性能提升，实用性高。
声明：
“低杂波铌酸锂薄膜声表面波滤波器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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