合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 铝酸锂晶片的化学机械抛光方法

铝酸锂晶片的化学机械抛光方法

1053   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:23:54
本发明提供一种铝酸锂晶片的化学机械抛光方法,包括:采用具有第一浓度的抛光液对所述铝酸锂晶片进行第一阶段化学机械抛光;采用具有第二浓度的所述抛光液对所述铝酸锂晶片进行第二阶段化学机械抛光;所述第二浓度低于第一浓度,所述抛光液为碱性Al2O3抛光液。与现有技术相比,使用碱性的Al2O3抛光液对铝酸锂晶片进行化学机械抛光后,再用清水即可完成对铝酸锂晶片的抛光,不必再经过退火步骤。此外,由于Al2O3抛光液的中Al2O3粒径小,磨削效率高,分散性好,因此能够实现低粗糙度和无划痕的目的。实验结果表明,抛光后的铝酸锂晶片的表面粗糙度小于0.4nm。
声明：
“铝酸锂晶片的化学机械抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：铋酸镧锂基固态电解质材料及其制备方法
下一个：草酸硼酸锂的制备方法

与 “铝酸锂晶片的化学机械抛光方法” 相关技术

▪ 可自动调节矿石粒度破碎机械手
▪ 具有钻井液强制冷却装置的钻井循环系统
▪ 泥浆分离工艺及其设备
▪ 矿物开采用洗矿设备
▪ 基于遥感技术的地质勘探定位方法及系统
▪ 可防碎屑溅射的金属矿样采取装置
▪ 金属非金属矿山采矿用防塌支持装置
▪ 矿石锡元素的测定方法
▪ 深切割地形条件下锶矿找矿方法及系统
▪ 矿用卡车防高坠安全设备

相关加工设备推荐

锂电池回收
石墨裂解炉
EFALI LOTO搅拌机
大型碳纤维复合材料热压罐固化设备
铝制或铜质单排水结晶器
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪可自动调节矿石粒度破碎机械手
▪具有钻井液强制冷却装置的钻井循环系统
▪泥浆分离工艺及其设备
▪矿物开采用洗矿设备
▪基于遥感技术的地质勘探定位方法及系统
▪可防碎屑溅射的金属矿样采取装置
▪金属非金属矿山采矿用防塌支持装置
▪矿石锡元素的测定方法
▪深切割地形条件下锶矿找矿方法及系统
▪矿用卡车防高坠安全设备

报名参会
更多+

2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024年12月20日 ~ 22日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:221
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:116
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:112
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:97
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 废旧磷酸铁锂电池梯次及再生利用
下载:69
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记