由多个层的堆叠来实施的锂微电池的制造方法,所述多个层依次包括:由第一材料制成的第一层(11),由第二材料制成的第二层(12),固体电解质层(13)和第一电极(14)。该方法还包括蚀刻形成由第一材料制成的第一图案(M1)以及由第二材料制成的第二图案(M2),该第二图案限定了该电解质层(13)的覆盖区域(13”)以及非覆盖区域(13’)。然后用第二图案(M2)作为蚀刻掩模来蚀刻非覆盖区域(13’)。在蚀刻该第一图案(M1)之后,在第二图案(M2)上形成了锂基层,该锂基层和该第二图案形成了第二锂基电极。
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