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锂微电池的制造方法

718   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:15:13
由多个层的堆叠来实施的锂微电池的制造方法，所述多个层依次包括：由第一材料制成的第一层(11)，由第二材料制成的第二层(12)，固体电解质层(13)和第一电极(14)。该方法还包括蚀刻形成由第一材料制成的第一图案(M1)以及由第二材料制成的第二图案(M2)，该第二图案限定了该电解质层(13)的覆盖区域(13”)以及非覆盖区域(13’)。然后用第二图案(M2)作为蚀刻掩模来蚀刻非覆盖区域(13’)。在蚀刻该第一图案(M1)之后，在第二图案(M2)上形成了锂基层，该锂基层和该第二图案形成了第二锂基电极。
声明：
“锂微电池的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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