本发明公开了一种谐振式集成光学陀螺用多功能铌酸锂
芯片。本发明在铌酸锂波导基底上集成入射单元,用于对入射光起偏;相位调制单元,用于对起偏后的光进行调制得到调制光波;第一耦合单元,用于将返回光波耦合进探测器;第二耦合单元,用于对调制光波按一定比例分光;出射单元,用于将分光后的光起偏后输出到后续谐振腔。采用铌酸锂薄膜生长技术优化钛扩散铌酸锂波导的模场分布,减小其与光纤的耦合损耗;采用附加金属层技术实现对输入/输出光偏振态的控制,减小陀螺系统偏振噪声。本发明的芯片集成相位调制、偏振控制与耦合分光功能,体积小,耦合损耗小,偏振控制能力强,有助于提高谐振式集成光学陀螺的灵敏度与稳定性。
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