本发明提供一种耐高温的铌酸锂电光调制器及其制备方法,耐高温的铌酸锂电光调制器包括:铌酸锂波导
芯片;与铌酸锂波导芯片耦合的光纤;以及固定微槽,用于固定光纤,以实现光纤与铌酸锂波导芯片的耦合;铌酸锂波导芯片与固定微槽非工作区域均设置有一层金属膜。铌酸锂波导芯片与固定微槽非工作区域均设置有一层金属膜,这样外部引入的温场可快速在铌酸锂波导芯片与固定微槽表面展开,减小温度差导致的热应力。
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