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电子束热蒸发制备锂镧钛氧薄膜的方法

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:26
本发明属锂离子薄膜电池技术领域，具体为一种 锂离子薄膜电池的固态电解质锂镧钛氧薄膜(LLTO)的制备方 法。本发明采用电子束热蒸发沉积法制备锂镧钛氧薄膜，其特 点是薄膜的沉积面积大，沉积速率高，其锂离子的离子导电率 可达2×10－7S/cm。结合射频磁 控溅射制备的LiCoO2或 LiMn2O4阴极薄膜，射频磁控溅射制备的锂磷氧氮(LiPON)保护 层薄膜与真空热蒸发制备的金属锂阳极薄膜，组装成全固态薄 膜锂电池。电池的比容量为 45mAh/cm2－μm和 24mAh/cm2－μm，循环次数可 达150次。这些结果表明：电子束热蒸发方法制备LLTO固态 电解质薄膜，能应用于全固态薄膜锂电池。
声明：
“电子束热蒸发制备锂镧钛氧薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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