本发明涉及制备铌酸锂光波导的钛扩散装置及 其方法,所述钛扩散装置包括三氧化二铝支架,用于支承待扩 散的铌酸锂基片;三氧化二铝陶瓷盒,用于盛装支承有铌酸锂 基片的三氧化二铝支架;铌酸锂粉末,置于陶瓷盒底部位于支 架的下方;扩散炉,由三氧化二铝陶瓷管和套置在其外周的加 热炉管组成,用于产生高温扩散环境;鼓泡装置,用于产生高 温的湿氧供给扩散炉。本发明由于采用高纯Al2O3管道、容器及支架作为钛扩散装置,克服了高温下在石英容器扩散环境中发生的复杂化学反应,消除了该反应在波导中产生光散射点等缺陷。而在Al2O3盒中加入铌酸锂粉末,进一步抑制Li2O的扩散,提高了波导质量。
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