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制备铌酸锂光波导的钛扩散方法及装置

962   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:08
本发明涉及制备铌酸锂光波导的钛扩散装置及 其方法，所述钛扩散装置包括三氧化二铝支架，用于支承待扩 散的铌酸锂基片；三氧化二铝陶瓷盒，用于盛装支承有铌酸锂 基片的三氧化二铝支架；铌酸锂粉末，置于陶瓷盒底部位于支 架的下方；扩散炉，由三氧化二铝陶瓷管和套置在其外周的加 热炉管组成，用于产生高温扩散环境；鼓泡装置，用于产生高 温的湿氧供给扩散炉。本发明由于采用高纯Al2O3管道、容器及支架作为钛扩散装置，克服了高温下在石英容器扩散环境中发生的复杂化学反应，消除了该反应在波导中产生光散射点等缺陷。而在Al2O3盒中加入铌酸锂粉末，进一步抑制Li2O的扩散，提高了波导质量。
声明：
“制备铌酸锂光波导的钛扩散方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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