本发明涉及一种基于铌酸锂薄膜的宽带行波电光调制器,该调制器包括:基底、铌酸锂薄膜、光学波导、缓冲层以及金属电极。所属基底采用石英晶片;所述铌酸锂薄膜具有单晶结构且厚度为4至10微米;所述光学波导采用钛扩散波导或退火质子交换波导;所述缓冲层采用氧化硅或
氧化铝薄膜;所述金属电极采用行波电极结构,金属电极的火线与地线对称地位于光学波导的两侧。本发明的有益技术效果在于:可同时实现铌酸锂电光调制器的折射率匹配与阻抗匹配,提高器件的工作带宽,且未增加器件的半波电压,可有效地降低铌酸锂宽带电光调制器的生产成本。
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