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多基片补锂设备

748   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:06
本实用新型涉及一种多基片补锂设备，包括补锂腔室和设于所述补锂腔室内的多基片放卷装置、多基片收卷装置、多基片引带装置、靶材安装机构组及遮蔽装置。上述多基片补锂设备在使用时，只需将多卷基片安装于多基片放卷装置上，将多卷基片的一端固定于引带轴，然后通过引带驱动件驱动引带轴从多基片放卷装置运动至多基片收卷装置处，再将多卷基片的一端固定于多基片收卷装置上，便可完成多卷基片同时补锂的准备工作。如此，有利于快速高效地实施多卷基片的同时补锂，提高了补锂的效率。
声明：
“多基片补锂设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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