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基于马赫-曾德干涉的硅基铌酸锂薄膜光调制器

615   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:09:47
本发明提供一种基于马赫-曾德干涉的硅基铌酸锂薄膜光调制器，包括行波电极，铌酸锂波导层，下包层，地电极和衬底，所述的衬底上表面覆盖所述的地电极；所述的地电极上表面覆盖所述的下包层；所述的下包层上表面覆盖所述的铌酸锂铌酸锂波导层；所述的铌酸锂波导层上表面覆盖所述的行波电极；所述的铌酸锂波导层包括铌酸锂晶体和钛扩散条波导，所述的铌酸锂晶体设置在钛扩散条波导的下表面中部。本发明的铌酸锂波导层的设置，在实现低功耗驱动的同时降低了调制器的尺寸，提高了器件的稳定性，具有制作工艺简便，器件尺寸小，稳定性好等优点，便于推广和使用。
声明：
“基于马赫-曾德干涉的硅基铌酸锂薄膜光调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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