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基于马赫-曾德干涉的硅基铌酸锂薄膜光调制器

657   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 21:09:47
本发明提供一种基于马赫-曾德干涉的硅基铌酸锂薄膜光调制器,包括行波电极,铌酸锂波导层,下包层,地电极和衬底,所述的衬底上表面覆盖所述的地电极;所述的地电极上表面覆盖所述的下包层;所述的下包层上表面覆盖所述的铌酸锂铌酸锂波导层;所述的铌酸锂波导层上表面覆盖所述的行波电极;所述的铌酸锂波导层包括铌酸锂晶体和钛扩散条波导,所述的铌酸锂晶体设置在钛扩散条波导的下表面中部。本发明的铌酸锂波导层的设置,在实现低功耗驱动的同时降低了调制器的尺寸,提高了器件的稳定性,具有制作工艺简便,器件尺寸小,稳定性好等优点,便于推广和使用。
声明:
“基于马赫-曾德干涉的硅基铌酸锂薄膜光调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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