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热释电钽酸锂LiTa3O8薄膜及其制备工艺

591   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:06:46
本发明涉及一种热释电钽酸锂LiTa3O8薄膜及其溶胶－凝胶法制备工艺。本发明提供一种新组份的热释电钽酸锂LiTa3O8薄膜，比普通的钽酸锂LiTaO3薄膜，具有更小的漏电电流，能承受更高的极化电压。除具有非制冷的热释电特性外，钽酸锂LiTa3O8薄膜还具有良好的铁电、压电、电光和非线性光学特性，利用其一种或几种特性可制作功能器件。本发明所述制备钽酸锂LiTa3O8薄膜的溶胶－凝胶工艺：以铂金基底或硅单晶为基底，以高纯度金属锂和乙醇钽为原料，以乙二醇甲醚为溶剂，氩气保护下制备LiTa3O8溶胶，通过在基底上旋转涂膜得到LiTa3O8湿膜，对湿膜快速热退火得到0.2～5μm厚LiTa3O8薄膜。
声明：
“热释电钽酸锂LiTa3O8薄膜及其制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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