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锂钴锰氧化物靶材及其制备方法

637   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:06:44
本发明公开了一种锂钴锰氧化物靶材及其制备方法。其技术方案是：按氧化锂∶四氧化三钴∶二氧化锰的摩尔比为1∶(0.417～0.667)∶(1.25～2)配料，于球磨罐中球磨，得到混合料；将所述混合料置入马弗炉中，在空气气氛中加热至1000～1200℃，保温18～30h，得到锂钴锰氧化物产物：Li(3+2x)/3Co(3‑x)/3Mn(3‑x)/3O4，其中：0≤x≤0.5；将所述锂钴锰氧化物产物在1000～1200℃和75～125MPa条件下，热压烧结1～3h，得到锂钴锰氧化物胚料；对所述锂钴锰氧化物胚料进行精加工，清洗，制得锂钴锰氧化物靶材。本发明具有生产成本低、操作简单、产品形状和尺寸均可控的特点，制备的锂钴锰氧化物靶材密度高，适用于各种物理气相沉积法制备锂钴锰氧化物薄膜。
声明：
“锂钴锰氧化物靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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