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原位沉积制备全固态薄膜锂电池的设备和方法

650   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:05:45
本发明属电化学技术领域,具体为一种“原位”沉积全固态薄膜锂电池的设备,以及采用该设备制备全固态薄膜锂电池的方法。该设备由四个沉积薄膜腔室和一个手套箱串联组成,不同薄膜分别在四个不同的腔室中制备:直流磁控溅射室制备电子集流体薄膜、直流或射频磁控溅射室制备阴极薄膜、射频磁控溅射室制备电解质薄膜以及真空热蒸发室制备金属锂阳极薄膜。本发明在不破坏真空的条件下实现了各种薄膜的“原位”沉积,避免了薄膜间界面被尘埃、水分和其他污染物沾污。采用该设备制备的全固态薄膜锂电池具有较小的界面电阻和电荷转移电阻,在充放电循环中表现出较小的容量衰减性能。
声明：
“原位沉积制备全固态薄膜锂电池的设备和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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