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铌酸锂光波导的制备方法

625   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:05:44
本发明提供了一种铌酸锂光波导的制备方法,该方法选用掺锌或者掺镁的铌酸锂晶体,采用外加电场极化的方法在掺杂铌酸锂晶体上制作周期畴反转结构,以此为波导层,通过折射率低于波导层的光学胶与铌酸锂或者钽酸锂衬底黏胶键合,再用ICP干法刻蚀出脊形波导结构,得到铌酸锂波导。本发明采用的胶层与空气折射率更接近,所以波导中光场限制作用更强且光场呈对称分布,与单模光纤的耦合效率更高。采用黏胶键合,使得晶圆表面洁净度和粗糙度的要求要远低于直接键合的晶圆表面,工艺上更容易实现。使得此方法制备的铌酸锂光波导在增强光场限制作用,降低波导传输损耗,抑制光折变效应以及降低制作工艺难度等方面有较优越的性能。
声明：
“铌酸锂光波导的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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