本发明公开了一种新型铌酸锂光学波导晶片,包括:铌酸锂晶片和光学波导,所述铌酸锂晶片为光学级晶体,其晶向为X切Y传或Z切Y传或X切Z传或Y切Z传等四种中的一种,所述光学波导为氧化锌扩散铌酸锂光学波导。另外,还提供了两种铌酸锂光学波导晶片的制备方法。本发明所提出的氧化锌扩散铌酸锂光学波导具有如下优势:(1)能够同时传输TE和TM两种偏振模式,具有比钛扩散光学波导更高的光损伤阈值,更适合应用于需要传输较高光功率的光传输系统;(2)具有较高的光损伤阈值,可以同时传输两种偏振模式,不存在其中一种偏振模式被滤波的现象;(3)制备工艺简单、成品率高、成本低,更适合于批量生产。
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