合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 力学传感器用铌酸锂单晶薄膜图形化刻蚀方法

力学传感器用铌酸锂单晶薄膜图形化刻蚀方法

730   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:04:41
本申请公开了一种力学传感器用铌酸锂单晶薄膜图形化刻蚀方法，包括：制作铌酸锂薄膜；清洗上述铌酸锂薄膜；在上述铌酸锂薄膜表面涂覆光刻胶或溅射金属薄膜，使用紫外光刻技术得到刻蚀用掩膜层；使用丙酮浸泡铌酸锂薄膜，剥离薄膜表面光刻胶；使用离子束刻蚀机对铌酸锂薄膜刻蚀；将刻蚀后薄膜进行标准清洗清除表面光刻胶残留获得铌酸锂薄膜图形化结构。本申请实现了离子束刻蚀的方法完成了铌酸锂单晶图形化刻蚀，获得了低粗糙度、高深宽比、高可靠性的铌酸锂图形化结构，通过不同的工艺流程优化，实现了铌酸锂的高质量长时间连续刻蚀，进而极大地提高了样品的成品率，为力学传感器的后继工艺提供了理论技术支持。
声明：
“力学传感器用铌酸锂单晶薄膜图形化刻蚀方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：锂电材料截面扫描电镜样品的制备方法和应用
下一个：电容碳磷酸铁锂复合材料的制备方法

与 “力学传感器用铌酸锂单晶薄膜图形化刻蚀方法” 相关技术

▪ 改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪ 高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪ 冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术
▪ 稀散多金属采选冶废弃物减量化、资源化与污染控制及环境管理研究
▪ 含稀土废料界面分选与全组份资源化深度利用
▪ 固态储氢及复杂合金的真空电磁热场熔炼炉
▪ 李红旗镁合金导电抗蚀功能涂层
▪ 使用寿命长的金属超声波探伤仪
▪ 磁性球磨机转筒结构
▪ 能够提升分离效果的筛砂机振动筛料斗

相关加工设备推荐

低氧高纯钛锭
粉末材料等离子体球化装备
三元材料振动筛
锡青铜
氯化亚汞
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术
▪稀散多金属采选冶废弃物减量化、资源化与污染控制及环境管理研究
▪含稀土废料界面分选与全组份资源化深度利用
▪固态储氢及复杂合金的真空电磁热场熔炼炉
▪李红旗镁合金导电抗蚀功能涂层
▪使用寿命长的金属超声波探伤仪
▪磁性球磨机转筒结构
▪能够提升分离效果的筛砂机振动筛料斗

报名参会
更多+

中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年08月20日 ~ 22日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:89
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记