本发明属锂离子薄膜电池技术领域,具体涉及一种应用于全固态薄膜
锂电池的
正极材料掺锆锰酸锂薄膜(LMZO)及其制备方法。本发明采用射频磁控溅射沉积法制备掺锆锰酸锂薄膜,其颗粒尺寸明显小于纯的锰酸锂(LMO),且在
电化学循环过程中表现出不同于LMO的斜的充放电曲线,克服了LMO充放电曲线中电位突跃的不利影响。结合射频磁控溅射制备的锂磷氧氮(LiPON)固态电解质薄膜与真空热蒸发制备的金属锂负极薄膜,组装成全固态薄膜锂电池。电池的比容量可达53mAh/cm2-μm,循环次数可达300次。这些结果表明:射频磁控溅射方法制备LMZO正极薄膜,能应用于全固态薄膜锂电池。
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